现代社会从收音机到携带,计算机及电(dian)视(shi)都离(li)不开集(ji)成电(dian)路(lu),而集(ji)成电(dian)路(lu)的生(sheng)产和发展都离(li)不开真空。
水(shui)蒸气(qi)遇冷(leng)会变成(cheng)(cheng)水(shui)滴。如果不(bu)是水(shui)蒸气(qi)而换(huan)成(cheng)(cheng)铝或(huo)其他材料,则(ze)同样原理就是真空镀气(qi)。高真空中通(tong)过加(jia)热使铝蒸发(fa),铝蒸气(qi)飞到目标表面而成(cheng)(cheng)膜(mo)。如果不(bu)是在真空状态,则(ze)铝会燃烧(shao)起来。
用(yong)久(jiu)的萤光灯两边会发黑,这是溅射(she)成膜(mo)的现(xian)象。惰性(xing)气体(ti)Ar在灯管中经过放电而(er)成离(li)子(zi)状态。高速(su)的Ar离(li)子(zi)撞击(ji)其(qi)他材(cai)料后使其(qi)蒸发。溅射(she)成膜(mo)法不利用(yong)加热(re)而(er)是利用(yong)使气体(ti)分子(zi)离(li)子(zi)化而(er)完成。
除(chu)此之外,通过各种气体的化(hua)学反(fan)应而(er)成膜(mo)(CVD)的方法也被广泛(fan)使用(yong)。各种成膜(mo)方法各有特长,要(yao)根据需(xu)要(yao)而(er)定(ding)。
真(zhen)空状态不仅(jin)仅(jin)被利用于成(cheng)膜方面,精(jing)密形成(cheng)的薄(bo)膜上(shang)沾(zhan)了灰(hui)尘或油滴(di)之后会出现(xian)严重的后果。集成(cheng)电(dian)路中(zhong)细线的宽度是吸烟(yan)时(shi)吐出的烟(yan)雾颗(ke)粒的1/3, 是一颗(ke)灰(hui)尘的近万(wan)分之一。对集成(cheng)电(dian)路而(er)言,哪怕(pa)一颗(ke)烟(yan)雾的颗(ke)粒,就(jiu)好(hao)象(xiang)大路上(shang)停了一架大型飞机(ji)一样,无法通过或造成(cheng)短路。为了不让灰(hui)尘落到正(zheng)在(zai)生(sheng)产的集成(cheng)电(dian)路上(shang),需(xu)要(yao)真(zhen)空环境。
科研领(ling)域更(geng)是离不(bu)开(kai)(kai)真空(kong)(kong)。宇(yu)宙开(kai)(kai)发方面,为了(le)模拟宇(yu)宙空(kong)(kong)间,当然(ran)需要(yao)(yao)真空(kong)(kong)状态。人造卫星,火箭(jian)的(de)(de)生产也需要(yao)(yao)真空(kong)(kong)。观(guan)察原子的(de)(de)显微镜如(ru)果不(bu)是在真空(kong)(kong)状态就(jiu)无法观(guan)测到物(wu)(wu)质(zhi)的(de)(de)表面。物(wu)(wu)理学中(zhong)zui先(xian)端的(de)(de)粒子加(jia)速器中(zhong)的(de)(de)粒子,在超高真空(kong)(kong)状态中(zhong)被加(jia)速到接近光速。