以下是特别整理的有(you)关真空箱氦检(jian)设备(bei)的日常巡检(jian)要点，希望对正在(zai)以及(ji)将要使用真空箱氦检(jian)设备(bei)的朋(peng)友(you)们提供一些(xie)帮助(zhu)。
设(she)备重(zhong)点保养：
真空箱氦检(jian)漏设备日常(chang)巡检(jian)：
在日常的(de)巡(xun)检中要对几个(ge)重点部位(wei)进(jin)行检查;
箱门密封的清洁情况，表面有无(wu)破损，接(jie)口处是否有缝(feng)隙;
箱体(ti)内是否清(qing)洁，有(you)无异物存在：箱接头密封(feng)是否有(you)及(ji)(ji)时更换，及(ji)(ji)时加油(you)润(run)滑(hua);
油(you)色清澈透明，有无(wu)漏(lou)油(you)现(xian)象，泵温在正常范围不(bu)过热;
检漏仪温度及泵(beng)油(you)在要求(qiu)范围，油(you)色清(qing)澈透明(ming);
配电(dian)柜的清洁无污(wu)，通风良好;
电磁阀固定(ding)螺丝有无(wu)松动掉落;
各(ge)气源有(you)无漏气现象(xiang)：箱门(men)滑(hua)轨润(run)滑(hua)情况(kuang);
设备(bei)本底(di)值是否在正常范(fan)围，有无(wu)波(bo)动现象;
设备整体5S和日常点检的(de)准确真实性;
在巡检中发现问题要及(ji)时处理(li)，避(bi)免(mian)引起较严重的(de)故障。
真空箱氦检(jian)漏设备(bei)重(zhong)点部位维修保养：
根据巡检(jian)的情(qing)况及时(shi)处(chu)理问题，消除缺陷(xian);
保养时应从(cong)重点入手(shou)，消除故障(zhang)隐患;
真(zhen)空泵(beng)：真(zhen)空泵(beng)油的更换，排气(qi)过滤器(qi)的更换，泵(beng)体(ti)周围漏油修复，真(zhen)空极限检(jian)测;
管(guan)(guan)路：连接(jie)处紧固(gu)，过滤器清洁，管(guan)(guan)路固(gu)定;
真空阀门：内部清理、检漏螺丝固定、法兰紧固;
箱(xiang)门：错位(wei)调整(zheng);密封磨损更换，表面(mian)清洁;
检(jian)漏仪：泵油更换(huan)，通风风扇情路;
电磁阀(fa)：螺(luo)丝紧固，阀(fa)芯检查，动作确认
